Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1

Автор:

Жанр: Техническая литература

Издатель: «Лаборатория знаний»

Год выпуска: 2012

ISBN книги: 978-5-9963-2904-5

Тип: Книга

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.

Скачать Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1, М. А. Королев

Скачать fb2 Скачать epub Скачать txt

Отзывы Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1, М. А. Королев